光刻膠烘箱操作寶典：精準控溫?規范流程?保障光刻精度
一、操作前準備
設備檢查：確認烘箱外觀無破損、電源線連接牢固，檢查溫度傳感器、風機、門封條是否完好，無松動或損壞。
環境要求：確保操作環境清潔、干燥，無粉塵、腐蝕性氣體，烘箱周圍預留≥30cm散熱空間，避免靠近易燃、易爆物品。
樣品準備：將待處理的光刻膠樣品裝入專用承載容器（如石英舟、特制托盤），確保樣品擺放均勻，不重疊、不遮擋出風口，避免影響熱風循環。
二、開機與參數設置
啟動設備：接通烘箱電源，按下控制面板上的“電源開關”，設備進入待機狀態，顯示屏顯示當前環境溫度。
溫度設定：根據光刻膠工藝要求，通過“溫度調節鍵”輸入目標溫度（常見范圍：40℃-200℃），按下“確認”鍵鎖定溫度參數，設備自動開始預熱。
時間設定：通過“時間調節鍵”設置烘烤時長（常見范圍：5min-120min），若需連續運行，可選擇“連續模式”，設定完成后按下“啟動”鍵。
輔助參數設置：根據需求開啟熱風循環功能（默認開啟），確保箱內溫度均勻；若樣品對濕度敏感，可開啟除濕功能（部分型號支持），調節濕度至工藝要求范圍（通常≤5%RH）。
三、光刻膠烘箱樣品放入與運行監控
放入樣品：待烘箱預熱至目標溫度±2℃范圍內（顯示屏顯示“恒溫”狀態），緩慢打開箱門，快速將裝有樣品的承載容器放入箱內中層或指定擱板，關閉箱門并確認門扣鎖緊，避免熱風泄漏。
運行監控：烘烤過程中，實時觀察顯示屏上的溫度、時間參數，若溫度波動超過±5℃，需暫停運行并檢查設備；禁止在運行中頻繁打開箱門，以免影響溫度穩定性和光刻膠性能。
異常處理：若設備出現報警（如超溫、風機故障），立即按下“緊急停止”鍵，切斷電源，待設備冷卻后排查故障，故障未排除前不得重新啟動。
四、停機與樣品取出
結束運行：當烘烤時長達到設定值，設備自動發出提示音，顯示屏顯示“完成”，此時按下“停止”鍵，關閉熱風循環和電源開關。
冷卻等待：若烘烤溫度≥100℃，需等待烘箱自然冷卻至60℃以下（或根據光刻膠要求冷卻至指定溫度），再打開箱門，避免高溫樣品接觸空氣后發生氧化或變形。
取出樣品：佩戴耐高溫手套，緩慢打開箱門，先釋放箱內殘留熱氣，再平穩取出承載容器，將樣品轉移至指定冷卻區域，待冷卻后進行后續工藝。
關閉設備：確認樣品取出后，關閉烘箱電源，拔掉電源線，整理操作區域，確保設備表面無殘留樣品或污漬。
五、清潔與維護
日常清潔：每次使用后，待設備冷卻至室溫，用干凈的無塵布擦拭箱內壁、擱板和門封條，去除殘留的光刻膠粉塵或污漬，避免積累影響后續使用。
定期維護：每周檢查一次溫度傳感器和風機，確保無灰塵覆蓋；每月清潔一次出風口和進風口濾網，避免堵塞影響散熱；每季度校準一次溫度精度，確保工藝參數準確性。
長期存放：若長期不使用，需切斷電源，清潔設備內外，將門略微打開通風，防止箱內受潮發霉，存放于干燥、通風的環境中。
六、光刻膠烘箱核心注意事項
嚴格按照光刻膠產品說明書要求設定溫度和時間，禁止超溫、超時烘烤，以免導致光刻膠固化性能失效。
禁止將液體狀光刻膠直接放入烘箱，避免液體泄漏引發安全隱患；承載容器需定期清潔、消毒，防止交叉污染。
設備運行時，箱門表面溫度較高，禁止觸摸，避免燙傷；兒童和非操作人員禁止靠近設備。
定期檢查設備電源線、插頭的絕緣性能，若出現老化、破損，需及時更換，確保用電安全。
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